据外媒报道，比利时微电子研究中心（IMEC）已成功利用阿斯麦最先进的极紫外光刻（EUV）设备，实现了纳米孔的全晶圆级制造。阿斯麦公司公关负责人将此称作其公司设备“一项出人意料的卓越生物医学应用”。

据了解，纳米孔是直径仅数纳米的微小孔道，基于分子与纳米孔相互作用原理可用于生物医学传感器，经该技术制备的纳米孔能实现对单个分子的检测与识别，调整尺寸还可拓展应用场景。现有纳米孔制备方法存在缺陷，而此次研究实现量产化、高精度与可重复性，有望解决纳米孔传感器技术落地难题。