幄肯明星产品外延毡(外延炉用黏胶基长纤石墨涂层硬毡),主要用于碳化硅外延炉热场保温。成型的外延毡主要分为上游隔离罩、下游隔离罩、1/2主隔离罩两瓣,表层均可附着石墨涂层,亦可根据客户需求沉积热解碳涂层或碳化硅涂层。其1000℃平均导热率仅0.2W/(m·k),1500℃热膨胀系数2.8×10-6/℃,充分体现了其优异的高温性能及高温稳定性,装配后的产品具有较高的电阻率,面方向(5%)电阻率6.9×10-3Ω·m,两测方向电阻率7.6×10-4Ω·m,可有效避免打火。
幄肯明星产品外延毡(外延炉用黏胶基长纤石墨涂层硬毡),主要用于碳化硅外延炉热场保温。成型的外延毡主要分为上游隔离罩、下游隔离罩、1/2主隔离罩两瓣,表层均可附着石墨涂层,亦可根据客户需求沉积热解碳涂层或碳化硅涂层。其1000℃平均导热率仅0.2W/(m·k),1500℃热膨胀系数2.8×10-6/℃,充分体现了其优异的高温性能及高温稳定性,装配后的产品具有较高的电阻率,面方向(5%)电阻率6.9×10-3Ω·m,两测方向电阻率7.6×10-4Ω·m,可有效避免打火。