近日，位于广州增城经济技术开发区的中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段。

据了解，中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约130亩，整体规划总投资30亿元。本次封顶的一期项目占地约50亩，投资约10亿元，集研发、测试、装配功能于一体。基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、PECVD等微观加工设备研发制造，并持续拓展智能玻璃、板级封装等新兴泛半导体装备赛道。

按照规划，一期项目力争2026年底建成，2027年正式投产。项目建成达产后，年产值预计不低于10亿元。