
合肥欣奕华AMHS专为半导体硅片、晶圆制造及先进封装等洁净环境下的自动物料搬送设计,多系列产品已通过SEMI S2认证,实现物料搬送效率与洁净室空间利用率双重提升。合肥欣奕华是国内首个同时实现8/12英寸Fully Auto整厂级部署并量产交付的AMHS整体解决方案供应商,助力半导体制造智能化升级与AI应用。
核心技术创新
1、高效稳定:直线速度320m/min(行业领先),振动值≤0.35G,非接触供电冗余架构,三维避障系统(检测精度±2mm)等多方位保障搬送物安全。
2、智能控制:动态路径规划实时路径优化;采用Junction Control System实现轨道汇流多车高效调度,提升效率与维护便利性。
3、先进架构:微服务框架支持灵活扩展与高可用性(99.9999%);集成FDC系统预测故障,减少停机风险。
4、紧凑设计:全直轨取放与紧凑布局适配复杂产线,支持灵活Layout规划(节约地面空间15%)。