据上海市集成电路行业协会官微消息,魅杰光电科技(上海)有限公司的首台28nm套刻精度量测设备成功在浦东张江出货,标志着魅杰光电成为国内为数不多的技术实力和技术储备达到国内关键工艺节点上的企业。
仪式上,上海市集成电路电路行业协会秘书长郭奕武代表协会向魅杰光电28nm套刻精度量测设备的成功出货表示祝贺。他指出:目前量测设备是我国集成电路产业链上的短板,在这类设备上有实力开发的企业不多,魅杰光电能够聚焦这个细分领域开发出产品并取得客户的信任实属不易,说明魅杰光电整个团队以及技术实力和技术储备得到市场的肯定,希望魅杰光电再接再厉,做深做实,取得更大成绩。
据了解,魅杰光电科技(上海)有限公司是一家以先进光学和计算机图形图像技术为基础,为半导体晶圆制造提供工艺控制与良率管理相关的量检测装备的公司。提供基于光学设计、图像处理、算法分析以及运动控制等技术在内的光、机、电、算、软一体化半导体量检测解决方案。公司产品主要涵盖套刻精度量测、全自动有图晶圆缺陷检测、无图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测、全场式非接触曝光机等五大类别。