9月29日消息， 9月26日，晶盛机电旗下浙江晶瑞SuperSiC首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线，实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发与100%国产化。

晶盛机电表示，此次贯通的中试线覆盖晶体加工、切割、减薄、倒角、研磨、抛光、清洗及检测全流程工艺，所有环节均采用国产设备与自主技术。其中，高精密减薄机、倒角机、双面精密研磨机等核心设备均由公司多年研发攻关完成，性能指标达到行业领先水平。至此，晶盛机电已形成12英寸SiC衬底从装备到材料的完整闭环，为下游产业提供了新的成本与效率基准。