11月7日消息,据韩媒ddaily引述半导体业界消息人士透露,SK海力士将在HBM3E为核心的生产线效率化完成后,具体制定为引进1c DRAM工艺的设施调整和设备部署计划。
报道称,SK海力士内部正在制定工艺小型化战略,以增加1c DRAM过渡阶段的EUV(极紫外)曝光工艺层数,并考虑重新调整设备配置,以提高光刻、蚀刻和清洗等核心设备的精度。
据悉,1c DRAM工艺是10nm级第六代工艺节点,可进一步缩小电路线宽并提高电源效率。
11月7日消息,据韩媒ddaily引述半导体业界消息人士透露,SK海力士将在HBM3E为核心的生产线效率化完成后,具体制定为引进1c DRAM工艺的设施调整和设备部署计划。
报道称,SK海力士内部正在制定工艺小型化战略,以增加1c DRAM过渡阶段的EUV(极紫外)曝光工艺层数,并考虑重新调整设备配置,以提高光刻、蚀刻和清洗等核心设备的精度。
据悉,1c DRAM工艺是10nm级第六代工艺节点,可进一步缩小电路线宽并提高电源效率。