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深圳市图南技术装备有限公司——TN6103S收料机

来源:大半导体产业网    2023-07-01
设备主要由导正机构、定位机构、移载机构、弹夹升降放机构、弹夹缓存机构,软件控制系统等组成。

TN6103S收料机是一款全新理念的半导体substrate收料设备。设备主要由导正机构、定位机构、移载机构、弹夹升降放机构、弹夹缓存机构,软件控制系统等组成。

本设备可以同时对应3条通道进行substrate收料,设有3组收料仓,每一组对应一条轨道,每一组收料仓分两层,每层可缓存3个magazine。每组都独立运动控制。substrate由上游设备进入导正机构,送入定位机构,然后substrate和magazine进行扫码,根据扫码返回结果,将substrate送到不同的magazine,最后将条码与存放位置一起绑定上传到MES系统。整个过程设备自动进行,无须人员操作。具有3个magazine缓存区域,可以很大提高生产效率。

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