不带滚轮的特殊真空安装技术（可选滚轮安装）
全自动晶圆/框架装卸；
用于晶圆传送的卧式多轴传送机器人
处理晶圆的真空叉
晶圆对准晶圆盒装载盒式自动晶圆映射
ESD安装辊及ESD Teflon电镀接触晶圆卡盘；
基于工业PC的控制，配有17英寸触摸屏液晶显示器；
兼容普通晶圆及较薄晶圆；
兼容6英寸和8英寸框架；
非UV及UV胶带功能；
晶圆BG带剥离功能
晶圆OCR及贴标功能
操作晶圆盒功能
各种接触式卡盘，可处理各种晶圆
非接触式晶圆处理
用于超薄晶圆处理的伯努利臂