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上海至纯洁净系统科技股份有限公司展出SPM 回收硫酸技术与SPM工艺单片清洗设备Ultron S-300

来源:大半导体产业网    2021-03-17
核心提示:具有高效能硫酸回收,优异的晶圆SPM清洗工艺能力,并广泛的适配12寸晶圆各种清洗工艺组合搭配,能完全符合客户的先进工艺要求。

展位号:N5-5671

1)硫酸回收系统:能高效地进行硫酸回收,能为客户节省32%的成本
2)高温SPM工艺:能达成高温硫酸工艺温度>180℃
3)工艺表现:具有良好的刻蚀率表现,U%表现,颗粒控制能力
4)设备性能:模块化设计能力,占地面积小,优异的传送性能,高度的整体设备稳定性与可靠性
5)应用产品验证:在逻辑晶圆产品,FEOL,BEOL,MEOL使用已完成验证,且具有良好的工艺能力呈现
6)COO性价比:与国际大厂有相同的表现

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