展位号:N5-5671
1)硫酸回收系统:能高效地进行硫酸回收,能为客户节省32%的成本
2)高温SPM工艺:能达成高温硫酸工艺温度>180℃
3)工艺表现:具有良好的刻蚀率表现,U%表现,颗粒控制能力
4)设备性能:模块化设计能力,占地面积小,优异的传送性能,高度的整体设备稳定性与可靠性
5)应用产品验证:在逻辑晶圆产品,FEOL,BEOL,MEOL使用已完成验证,且具有良好的工艺能力呈现
6)COO性价比:与国际大厂有相同的表现
展位号:N5-5671
1)硫酸回收系统:能高效地进行硫酸回收,能为客户节省32%的成本
2)高温SPM工艺:能达成高温硫酸工艺温度>180℃
3)工艺表现:具有良好的刻蚀率表现,U%表现,颗粒控制能力
4)设备性能:模块化设计能力,占地面积小,优异的传送性能,高度的整体设备稳定性与可靠性
5)应用产品验证:在逻辑晶圆产品,FEOL,BEOL,MEOL使用已完成验证,且具有良好的工艺能力呈现
6)COO性价比:与国际大厂有相同的表现