
无图形晶圆缺陷检测设备广泛应用于集成电路前道晶圆制造、芯片制造、材料和装备等领域,是关键质量控制设备,技术难度极高,长期被美国、日本垄断。中科飞测历时10年,在国家02专项的支持下,实现14nm及以上多个节点系列化无图形晶圆缺陷检测设备的研发和产业化,整体技术达到国际先进水平,并持续面向更先进节点开展研发验证工作,打破了国内同类设备长期依赖进口的局面。
产品获深圳市技术发明奖一等奖、中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、国家级制造业单项冠军认定等,获得行业专家的高度认可;广泛应用于国内100余家客户产线,并进入我国台湾市场。产品累计销售300余台,销售收入超15亿元,推动中科飞测成为仅次于美国科磊的全球第二大生产商。