据日本经济新闻报道,日本半导体材料商Resonac(力森诺科)成功开发直径300mm(12寸)碳化硅(SiC)衬底,在相同制程下,每片可取得的半导体芯片数量为目前主流150mm(6寸)衬底的4倍。
Resonac目前主要生产150mmSiC衬底,供应汽车零部件厂商,以及半导体元器件厂。
300mmSiC衬底要实现商业化,除了功率半导体制造商投入大规模设备投资外,供应商也需建立能够稳定量产低缺陷衬底的生产体系,才能充分发挥降低成本的效益。因此,Resonac现阶段将先持续强化由150mm向200mm转移的生产能力,同时按客户需求评估300mm产品的市场前景。