
SEMISHARE A系列全自动探针台,产品综合定位精度±2μm(丝杠结构)/±1.5um(直线电机结构),弥补了国内探针台在高精度运动控制、定位方面的技术短板。相比日韩龙头企业,森美协尔是全球探针台市场产品线广泛和研发实力强劲的一家企业,与该产品相关核心专利申请超过80件(发明专利授权49件)。
可实现WAT和CP测试,高测试精度和测试效率,安全保护结构设计,可有效降低测试成本和风险。WAT核心功能模块:可实现-50℃-200℃温控范围,控温精度可达0.1℃,卡盘平面度可至10μm,卡盘漏流可达fA级别,放静电盒漏电流<100fA。
同时在板级封装、frame晶圆、双port、电动针座和四线法测试等特殊应用都有实际案例。目前已在多家foundry、封测企业量产。