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苏州苏磁智能科技有限公司——苏磁科技磁悬浮核心技术解决方案

来源:苏州苏磁智能科技有限公司    2026-03-26
苏州苏磁智能科技有限公司Supermag®拥有先进的磁悬浮无轴承电机技术和产品,为生物制药、半导体、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮电机、磁悬浮流体输送和搅拌系统。

导语:苏州苏磁智能科技有限公司Supermag®拥有先进的磁悬浮无轴承电机技术和产品,为生物制药、半导体、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮电机、磁悬浮流体输送和搅拌系统。

苏磁科技磁悬浮产品在生物制药领域,保障了药液在输送和搅拌中免受破坏;在半导体领域,满足高端芯片制造的严苛工艺要求;在化工领域,完全避免了动密封引起的泄漏风险;在高端能源装备领域,具有明显的节能效果和极高的可靠性。

苏磁科技拥有完备的质量体系,获ISO 9001质量管理体系认证,其产品获防爆认证、CE、SEMI S2等国际认证,并进入多家百亿级客户供应链。公司始终为客户提供及时有效的售后服务和技术支持。

SUPERMAG磁悬浮系列产品

SCM 系列磁悬浮晶圆转台

苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台,为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计,使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转,无摩擦、无动密封、不产生颗粒,可应用于:氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。 

SCP 系列磁悬浮泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮泵,可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作,无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑,是高端半导体等生产过程中的最优解。可应用于:匀胶显影、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS等。

磁悬浮动态混合器

苏磁科技自主研发的磁悬浮动态连续混合器,针对半导体制造中高纯度流体处理的关键工艺环节而优化设计。该设备通过无接触磁悬浮技术实现零颗粒污染与零机械磨损运行,满足半导体级洁净要求。系统采用低剪切混合原理,可温和处理光刻胶匀胶与在线稀释、CMP抛光浆料分散与循环、高纯工艺化学品在线配制等对流体完整性敏感的工艺。其开放式流道与高精度调控能力,支持在宽流量范围内实现稳定、脉动可控的输送表现,同时可为客户端节省投资,节省现场安装空间。

 

磁悬浮熔盐泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮熔盐泵,专为半导体严苛工艺中的极端高温流体输送而设计。

耐受极端高温:可稳定输送温度超过600℃的高温流体及特种热处理介质,保障工艺稳定性。

泵体与材料优化:针对超高温环境进行结构强化,并采用耐高温、抗腐蚀的特种材料,确保长期可靠运行。