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国内首条12英寸CMOS-MEMS智能微流控芯片量产线启动

来源:大半导体产业网    2025-06-24
该项目覆盖设计-制造-应用的智能微流控芯片产业链,构建国内首个12英寸MEMS微流控芯片量产线。

据越海集成官微消息,日前,广东越海集成技术有限公司首批MEMS制造设备正式入驻厂区,标志着越海集成国内首条12英寸CMOS-MEMS智能微流控芯片量产线建设全面启动,兑现了多方共建“12英寸CMOS+MEMS+封装‘三位一体’综合性技术平台”的战略承诺。

据了解,智能微流控芯片(半导体微流控)是液体数字化的“核心引擎”,能以皮升级精度高通量操控液体,其广泛应用于喷墨打印、生物医疗及超精密机械加工。然而,这一领域长期被意法半导体、惠普、佳能等国际巨头垄断,国产化率近乎为零。上述产线的建设,正是为了打破这一局面,实现核心技术自主可控。

据悉,该项目由兴橙资本牵头,越海集成联合傲睿科技及广东工研院,覆盖设计-制造-应用的智能微流控芯片产业链,构建国内首个12英寸MEMS微流控芯片量产线。本次设备入厂将为MEMS喷墨打印头自主量产奠定硬核基础。越海集成首期将达到每月1500片喷墨打印芯片产量,以全球首条12英寸智能微流控生产线为支点,越海集成将全力推动我国智能制造与生命科学仪器核心部件自主化。