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布局微纳光刻设备 玉之泉完成数亿元Pre-B轮融资

来源:综合报道    2026-09-15
本轮融资由深创投、建投投资联合领投,硅港资本、恒旭资本、佰彦基金、中芯科技(宁波)基金、金华创投等参与投资,同时引入粤港澳大湾区创业投资引导基金投资。

近日,杭州玉之泉精密仪器有限公司(以下简称“玉之泉”)宣布完成数亿元Pre-B轮融资。

本轮融资由深创投、建投投资联合领投,硅港资本、恒旭资本、佰彦基金、中芯科技(宁波)基金、金华创投等参与投资,同时引入粤港澳大湾区创业投资引导基金投资。

公开信息显示,玉之泉成立于2022年,依托浙江大学微纳光刻技术积累,主要从事微纳光刻设备及相关加工服务。目前,公司已形成覆盖不同精度等级及应用场景的光刻设备产品体系,布局双光子光刻、紫外AOD直写光刻、光纤光栅加工等技术。