据报道，近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司（简称“稳顶聚芯”）宣布，该公司研发的首台国产高精度Stepper（步进式）光刻机顺利出厂。

据其披露的产品资料显示，这款步进式光刻机属于其WS180i系列，主要应用于mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域，能够满足硅片、蓝宝石、SiC等衬底的不同胶厚光刻工艺需求。具体参数方面，WS180i系列覆盖了2-8英寸晶圆，分辨率覆盖了1.5μm-0.35μm。

除了步进式光刻机之外，稳顶聚芯还拥有套刻及关键尺寸光学量测设备（量测精度10nm）、超精密光学成像质量评价系统、高性能主动减震系统、晶圆寻边器、晶圆机械手、薄膜测量系统（膜厚测量精范围10nm-100μm）。