青岛四方思锐智能技术有限公司旗下Beneq半导体设备系列，采用全新的集群设计和尖端的镀膜沉积技术，为12”及以下晶圆的表面沉积多种材料，实现高保形，高均匀性，无针孔的薄膜沉积。Transform系列机台配置多样，兼容批量热法及等离子体功能，独特的预热模块可减少数小时的等待时间。为超摩尔器件，集成电路，CIS，MicroLed等应用市场提供了最佳的ALD解决方案。