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上海邦芯半导体科技有限公司——12吋超低损伤去胶设备

来源:大半导体产业网    2025-03-27
设备整体采用先进的射频系统、离子隔离系统与温控系统,提供了一个具有高性价比的12吋光刻胶灰化工艺腔。

邦芯的12吋去胶设备打破了长期以来国外设备厂商的技术垄断,解决了“卡脖子”的技术问题,填补了该领域国内市场的空白。设备整体采用先进的射频系统、离子隔离系统与温控系统,通过全新理念设计提供了一个具有高性价比的12吋光刻胶灰化工艺腔。目前该款设备已打入90%主流下游厂商的供应链,可为Fab厂提供从技术验证到定制交付的全流程解决方案。实际应用案例包括DRAM、MEMS、射频芯片、车规芯片等。与此同时,该款设备也实现了多元化发展路线,在边侧去胶、薄片去胶、背面去胶等场景都有相应使用。节点方面更是实现了高阶制程工艺路线领域的应用,是目前全球唯一一家实现多元化方案的去胶设备。