国瑞升新品高效抛光液,该产品pH值为酸性,使用过程中较为稳定,不会发生较大变化,保持较高稳定的抛光速率;
传统粗抛和精抛合计时间在6-9h,高效抛光液将粗抛、精抛合并为一道抛光工序,用2-3h,就能达到抛光要求。大大降低了加工成本、提高了加工效率。经过高效抛光液进行抛光后,碳化硅的碳面和硅面,可以达到的Ra值为:Si: 0.115nm C:0.127nm
北京国瑞升科技集团股份有限公司是一家专业从事超精密研磨抛光材料、研磨工艺及相关设备的研发、生产和经营的留创企业,国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业。目前针对碳化硅加工环节中,研磨抛良率低的卡脖子问题,自主研发了一整套解决方案,可以提供从粗磨、粗抛,到精磨、精抛的完整工艺和一系列配套耗材,该技术成果解决了碳化硅衬底精密研磨抛光的难题。