自“华海清科”公众号获悉,近日,华海清科新一代双工作台高效划切装备Versatile-DT300D首台装备正式出机,发往国内先进存储龙头企业。
据介绍,Versatile-DT300D针对存储芯片、先进封装、图像传感器等应用场景进行了定制化开发。该装备搭载创新的双工作台全自动切割模块,集成高效传输与高洁净清洗系统,在保障加工一致性的同时显著提升单位时间产出效率(WPH),且具备优异的清洗能力。其智能量测模块进一步拓展了切割量测与缺陷检测范围,使晶圆在划切环节即可获得更全面的质量监控,帮助客户降低缺陷风险、提升良率。装备自主集成的智能控制软件支持全流程数据追溯与智能分析,可无缝接入产线智能制造平台,帮助半导体工厂实现良率精准管控与数据透明化,充分满足先进制程与先进封装对晶圆处理的严苛要求,为客户创造更高的量产价值。