射频电源由稳定可靠的功率放大器和核心的直流控制系统组成。产品功率覆盖功率宽(500W至50kW)、多种频率(2MHz 13.56MHz 27.12MHz 40MHz 60MHz等)，采用中英文显示界面，操作简便。产品广泛应用于半导体刻蚀、半导体CVD、光伏CVD等行业领域。