6月30日，国内等离子体电源系统龙头神州股份科创板IPO获受理。

神州股份成立于2016年，总部位于江苏扬州，主要从事半导体关键工艺设备核心零部件的研发、生产、销售和技术支持服务，以半导体制造关键工艺技术——等离子体源技术为基础，为我国半导体先进制程产业链提供高端等离子体电源系统产品和全方位技术支持服务。 

神州股份的前10大股东中，国家集成电路产业投资基金二期（简称“大基金二期”）持股4.7847%，英特尔亚太研发有限公司持股8.6125%、长存产业投资基金持股3.1818%。

此外，中微公司通过直接或间接方式合计持有神州股份3.2246%的股份；拓荆科技通过直接或间接方式合计持有神州股份1.9428%的股份；华虹二期基金（上海多家国资出资，长鑫科技出资比例7.0391%）直接持有神州股份1.36%的股份。

本次IPO，神州股份拟募资25.22亿元，用于先进工艺节点集成电路领域电源类零部件研发及产业化项目、技术支持服务体系升级扩容项目、上海产业化基地建设项目、技术研发创新中心建设项目以及补充流动资金。

目前，神州股份的等离子体电源系统产品已经批量导入中微公司、拓荆科技、北方华创等国内头部半导体设备厂商。相关等离子体电源系统专业技术支持服务已经覆盖台积电、英特尔、三星电子、SK海力士、美光、德州仪器、华润微等国内外主流芯片产线，以及应用材料、中微公司、拓荆科技、北方华创等国内外知名半导体设备厂商。