高纯度双氧水、氨水是大规模集成电路生产工艺中所必须的湿电子化学品。产品主要用于半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂。
合肥芯科电子材料有限公司成立于2020年,公司坐落于安徽省合肥市新站区。芯科电材是镇江润晶高纯化工科技股份有限公司,为打造高端电子化学品供应平台,实现国产材料替代,配套芯屏产业链的重要布局。
润晶科技表示,芯科电材占地100亩,共设置甲类、乙类、丙类等4个危险化学品生产车间。一期计划投资7亿元,综合产能超过7万吨/年,产品涵盖超净高纯化学品和功能性化学品,主要应用在集成电路企业的显影、清洗、蚀刻制造工艺步骤。
芯科电材一期项目于2022年4月奠基开工,2023年4月建设完成。依托海科集团强大的研发实力,所有生产装置采用国际先进的生产设备和工艺技术。电子级双氧水于2023年5月27日投料试生产,6月17日产品就达到G5等级。电子级氨水装置于6月24日投料试生产,6月25日产品达到G5等级,在行业内创造了最快速度。目前产品处于客户送样评估阶段。润晶科技专注深耕湿电子化学品领域,随着新产品的陆续投产,将进一步加强公司一站式供应能力。