北方华创在碳化硅领域的“十年磨一剑”
来源：北方华创 2021-08-25
北方华创开展SiC晶体生长设备和技术的研发攻坚至今已有十余年积累，具有一支成熟的装备及晶体生长工艺的研发团队。
北方华创开展SiC晶体生长设备和技术的研发攻坚至今已有十余年积累，具有一支成熟的装备及晶体生长工艺的研发团队。
碳化硅晶片主要用来做成高压功率器件和高频功率器件，主要分为两种类型：导电型的 SiC 晶片经过 SiC 外延后，可制作成高压功率器件；半绝缘型的 SiC 晶片经过 GaN 外延后，可制成RF器件。从2017年正式发布4吋导电型SiC长晶设备解决方案并将首台设备推向市场以来，北方华创现已具备大尺寸、导电/高纯半绝缘型、粉料合成/晶体生长/晶锭热处理等多种技术路线的10余种设备机型，助力中国SiC企业实现高速发展。
北方华创始终将“以客户需求为导向的持续创新”作为企业的经营理念。作为国内先进的半导体设备厂商，北方华创提出了“工艺研发指导设备研制，与大生产线紧密结合”[2]这一科学的技术攻关路线，强调以客户需求为牵引，开发出能满足芯片生产线使用的工艺设备，并在实现工艺能力的过程中不断完善设备软硬件设计，从而快速、准确地满足用户要求，开拓先进高端设备的应用市场。
