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匠岭12英寸SuperHiK™高端量测机台出货龙头晶圆厂

来源:大半导体产业网    2024-04-25
近日,匠岭科技为12英寸先进逻辑芯片产线打造了SuperHiK™量测的完整解决方案。

据匠岭科技官微消息,近日,继为高端存储芯片产线提供多位一体的薄膜与光学关键尺寸(Film + OCD)量测解决方案后,匠岭科技再次为12英寸先进逻辑芯片产线打造了SuperHiK™量测的完整解决方案,深度赋能客户在各关键薄膜量测环节的精准监控,保障高K材料超薄膜工艺的可持续量产,填补了本土化供应链在这个高壁垒环节的空白。

据悉,此次匠岭高端量测机台 TFT70 首次内嵌 SuperHiK™ 的创新方案,顺利出货行业内领先的12英寸集成电路制造产线。 匠岭科技坚持在光学量测领域攻坚布局,全面覆盖了前段工艺(FEOL)和后段工艺(BEOL)精准光学量测的多元化需求。

目前,匠岭科技已在Logic/Foundry、IDM、Memory、Analog & Power等集成电路制造产线,协同部署了多种类量测机台与经验丰富的技术支持团队,量测超百万片晶圆,致力于打造具有国际竞争力的光学量检测生态。

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