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卓尔半导体设备 ( 苏州 ) 有限公司——芯片分选机 (Die Sorter)

来源:大半导体产业网    2023-06-29
可支持 Mapping 文件和 Ink 从wafer/tray to tray/wafer 进行分选,根据客户不同应用场景进行快速客制化。

卓尔半导体设备(苏州)有限公司自主研发高速高精度芯片分选机,可支持 0.3*0.3~25*25mm 芯片,最高 UPH14000,设备精度 ±10um,角度 ±0.5°。可支持 Mapping 文件和 Ink 从wafer/tray to tray/wafer 进行分选,根据客户不同应用场景进行快速客制化。芯片取放头采用 12 组吸嘴,取放芯片实时压力监测压力,防止芯片压伤。可升级自动更换吸嘴和吸嘴自动清洁功能,并且可以同时兼容多款吸嘴生产模式,更换生产芯片尺寸无需更换吸嘴。由 DD 马达直接驱动同时工作,实现高速,高精度,高可靠性。具备自动扩膜功能,可兼容 6/8/12 寸铁环 / 子母环 wafer,华夫盒或 Gel-pak 盒可兼容 2/3/4 寸。可实现多 BIN 双平台不停机供料,可对同一片Wafer 上的多种类芯片分BIN,具有取晶前后 AOI 视觉检测选项,可对芯片进行切割边缘质量检测,表面污染、压伤及划痕检测,根据客户需求选配芯片单面检、两面检和六面检。SiC 芯片可生产最薄 30μm。

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