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ASML称次先进DUV出口需获得荷兰政府许可

来源:大半导体产业网    2024-09-09
荷兰政府公布了浸润式DUV光刻机出口新规,自9月7日起生效。

自ASML官网获悉,荷兰政府公布了浸润式DUV光刻机出口新规,自9月7日起生效。

声明称,根据更新后的许可证发放要求以及美国《出口管理条例》相关规定,ASML将需要向荷兰政府申请TWINSCAN NXT:1970i和1980i型号浸润式DUV光刻系统的出口许可证。

此前,ASML最先进的浸润式DUV光刻机(即TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式DUV光刻机)已被限制,需要荷兰许可证才能发运。此外,ASML EUV光刻机的销售也需要许可证。