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东方晶源微电子科技(北京)有限公司展出关键尺寸量测设备 CD-SEM

来源:大半导体产业网    2021-03-19
核心提示:关键尺寸量测设备 (CD-SEM),应用电子束扫描技术得到的纳米级图像进行关键尺寸的量测,实现关键工艺参数的监控,是芯片制造过程中质量控制的关键设备。

展位号:E7-7259

SEpA®-c系列电子束关键尺寸量测设备(CD-SEM),面向200mm/300mm硅片工艺制程。通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案,搭配精准的量测算法,实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。

SEpA®-c300系列:适用200mm硅片,结构紧凑,高产能。

SEpA®-c4xx系列:适用300mm硅片,具有更高的分辨率和定位精度。

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