展位号:E7-7259
SEpA®-c系列电子束关键尺寸量测设备(CD-SEM),面向200mm/300mm硅片工艺制程。通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案,搭配精准的量测算法,实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。
SEpA®-c300系列:适用200mm硅片,结构紧凑,高产能。
SEpA®-c4xx系列:适用300mm硅片,具有更高的分辨率和定位精度。
展位号:E7-7259
SEpA®-c系列电子束关键尺寸量测设备(CD-SEM),面向200mm/300mm硅片工艺制程。通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案,搭配精准的量测算法,实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。
SEpA®-c300系列:适用200mm硅片,结构紧凑,高产能。
SEpA®-c4xx系列:适用300mm硅片,具有更高的分辨率和定位精度。