晶圆传输模块（EFEM 缩写自 Equipment Front End Module，即设备前端模块），业内通常指高洁净等级的微环境整机模块，用来建造超洁净等级的晶圆存储环境，并将单片晶圆通过精密机械手高频、高效、无损地传输至工艺、检测模块，是工艺、检测设备的一部分，不单独使用。

本项目研制的EFEM可手动或自动与OHT/AGV对接，采用双臂机械手式机器人，通过多轴复合运动实现晶圆取放片，极大提高了传片效率。内部气流导向结构，保证晶圆传输过程的洁净度，保证内部空间洁净度满足ISO Class 1级别要求。