据日经今日报道，日本卫浴巨头东陶（TOTO）计划未来5年内投入800亿日元拓展半导体材料业务，目标是为1纳米制程级别的下一代芯片制造提供关键支撑。

报道指出，TOTO神奈川县厂正将研发重点放在半导体材料上，目标指向1nm制程，同时公司将在九州大分县和福冈县工厂导入最新设备扩充产能，这两座工厂目前都已满载运转，福冈县厂区的新窑炉厂房预定明年1月完工。

在资金安排上，TOTO计划在截至2030年3月的财年内完成800亿日元的总投资，其中390亿日元已确定落实，其余部分将视市场需求情况推进。若投产后仍无法满足市场需求，TOTO将进一步考虑新建工厂。

早在上世纪80年代，TOTO就已入局半导体材料赛道，主要产品之一是静电卡盘，该部件被用于在芯片制造过程中固定晶圆，TOTO的这一产品以高纯度陶瓷工艺实现高耐久性。此外，TOTO在气溶胶沉积薄膜等材料方面也颇具优势，这项技术是把陶瓷微粒直接喷涂为薄膜，能有效防止半导体基板腐蚀并减少颗粒污染

这项业务此前常年亏损，但2020年前后人工智能芯片行业爆发，相关需求暴涨，半导体材料业务一跃成为其盈利支柱，盈利能力超过企业主营卫浴洁具业务。