微崇半导体自主开发的核心产品ASPIRER 3000是具有创新意义的新型晶圆电学缺陷检测设备,其应用革新的非线性光学晶圆量检测技术,可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测,精准判别与定位晶圆缺陷,针对各种介质层、非介质层和新型半导体材料都具有很好的应用价值。ASPIRER 3000快速、高效、精确以及全域扫描的检测能力能够满足先进制程对检测设备的高要求,能够在研发、产能爬坡、量产等各个阶段为客户带来巨大价值。
微崇半导体自主开发的核心产品ASPIRER 3000是具有创新意义的新型晶圆电学缺陷检测设备,其应用革新的非线性光学晶圆量检测技术,可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测,精准判别与定位晶圆缺陷,针对各种介质层、非介质层和新型半导体材料都具有很好的应用价值。ASPIRER 3000快速、高效、精确以及全域扫描的检测能力能够满足先进制程对检测设备的高要求,能够在研发、产能爬坡、量产等各个阶段为客户带来巨大价值。