大宗气体CQC系统解决方案

进样便捷：直接进样，无需复杂预处理系统同步分析；多杂质组分同时分析，使 CQC 系统组成更加简单自动校准；实际工作浓度下(ppb/ppt)的自动校准高效分析；分析速度快，单杂质组分秒级出数，全杂质分析仅2分钟；高灵敏度：检出限可达10 ppt ，满足当前及未来制程发展的要求；维护量低：无需使用载气、燃烧气等，降低运行维护成本无需集成；设备占用空间小。