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大宗气体CQC系统解决方案
进样便捷:直接进样,无需复杂预处理系统同步分析;多杂质组分同时分析,使 CQC 系统组成更加简单自动校准;实际工作浓度下(ppb/ppt)的自动校准高效分析;分析速度快,单杂质组分秒级出数,全杂质分析仅2分钟;高灵敏度:检出限可达10 ppt ,满足当前及未来制程发展的要求;维护量低:无需使用载气、燃烧气等,降低运行维护成本无需集成;设备占用空间小。