随着集成电路芯片制造技术的发展，制程工艺进入更小尺寸节点。关键尺寸（Critical Dimension，CD）决定着集成电路芯片制造过程中的产品良率，关键尺寸的偏差会导致芯片性能下降甚至失效，因此需要具备更高分辨率、更高稳定性和重复性、功能更全面的关键尺寸量测设备，以保证集成电路制造中的良率控制。

东方晶源国内首台12英寸CD-SEM（型号：SEpA-c410）已于2021年6月30日进入28nm产线验证，2022年设备进入量产，UT(设备使用率)超过90%。2025年产品持续迭代至SEpA-c505机型，性能、产能进一步提升，首台SEpA-c505已在客户现场完成能力验证。目前应用场景涵盖了≥14nm逻辑制程、3D-NAND制程、DRAM制程。有效解决国内集成电路制造关键“卡脖子”问题，为自主可控提供关键力量。