近日，扬帆半导体（江苏）有限公司自主研发的行业首台三面一体式12寸晶圆单片清洗设备，荣耀交付国内某头部芯片制造企业28nm先进制程生产线，赋能中国“芯”，这是国产高端清洗设备在先进制程领域的应用突破，标志着在半导体核心装备自主化道路上迈出了关键一步。

半导体清洗是芯片制造的关键环节，直接关系到芯片的良率与性能。长期以来，先进制程所需的12寸清洗设备市场由国外厂商主导，成为制约我国半导体产业发展的瓶颈之一。随着国家对半导体产业链自主可控的重视程度不断提升，实现此类高端设备的国产替代已成为行业迫切任务。

“我们不仅提供设备，更希望通过自主的自动化实验线，为材料企业、设计公司、乃至科研院所提供一个从晶锭加工到最终检测的完整工艺验证平台。我们的设备具备先进的SECS/GEM通信与闭环控制能力，这体现了我们在推动整线自动化与国产化方面的系统化思路。” 扬帆半导体董事长杨杰说。