大口径、大负载、并联/混联式全压电多自由度运动平台,支持复杂光机系统空间定位、调姿、对准及稳定等重要应用;
支持平动、偏摆、俯仰、旋转等各类空间运动,提供不同版本;
可根据客户需求提供更大口径和更高负载版定制系统,可提供真空等极端环境版定制系统。
纳米级运动精度,超高稳定性。
应用场景:大口径镜头测量、大型光机系统对准、大幅面干涉测量、纳米压印、集成电路检测、镜组准直与稳定等
大口径、大负载、并联/混联式全压电多自由度运动平台,支持复杂光机系统空间定位、调姿、对准及稳定等重要应用;
支持平动、偏摆、俯仰、旋转等各类空间运动,提供不同版本;
可根据客户需求提供更大口径和更高负载版定制系统,可提供真空等极端环境版定制系统。
纳米级运动精度,超高稳定性。
应用场景:大口径镜头测量、大型光机系统对准、大幅面干涉测量、纳米压印、集成电路检测、镜组准直与稳定等