据外媒报道，三星电子与SK海力士正竞相下单采购极紫外（EUV）光刻设备，双方各自投资额在10万亿至20万亿韩元之间。

ASML已明确2027-2028年EUV设备将出现供应短缺，能否锁定交付排期，已成为两家扩大先进DRAM产能的关键因素。

据悉，两家公司计划从明年开始陆续从ASML接收EUV光刻设备。SK海力士今年3月曾披露，将采购价值约11.95万亿韩元的EUV设备，交付截止日为2027年12月31日。受供应紧张影响，核心设备的交付周期已拉长至此前最长周期的两倍，两家企业正考虑提前下单；后续还可能视情况追加订单，资本开支进一步上升的可能性也随之增加。

三星电子也同步追加订单，以配合其平泽基地的投资节奏。去年11月，三星公布为期五年的450万亿韩元本土投资计划，其中包括平泽P5产线，目标是2028年投产。据悉，单座P5晶圆厂的投资规模超过60万亿韩元。业界预计，P5一期洁净室工程于明年上半年完工后，设备将陆续进场；三星已为这条产线订购光刻设备。

与此同时，后端设备厂商订单储备已经排满两至三年。