晶圆运输机器人（ATS6F）为满足半导体晶圆转运的各类场景要求而设计。通过内部密封设计搭配FFU（Fan Filter Unit），实现在非洁净环境下舱内也能保持ISO Class 5 的洁净度。可跨洁净度运行，还能通过跨车间、电梯、长连廊、风淋室等复杂场景，凭借高效、小巧、高通过性的特点适配多元生产场景。配备仓位信息化管理系统，能实时追溯物料生产信息；支持全无人/人机协作双模式上下料作业，灵活适配不同生产场景；能依客户场景需求选择不同载具储位，满足多元物料转运需求，该产品为行业首创。