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御微半导体——HOUYI7000P 套刻量测设备

来源:大半导体产业网    2026-03-13
HOUYI7000P产品名源自中国古代神话中射日之神射手后羿,产品涵盖成熟制程及先进制程产线取得产品验收并已经实现稳定规模量产。

HOUYI7000P产品名源自中国古代神话中射日之神射手后羿,产品涵盖成熟制程及先进制程产线取得产品验收并已经实现稳定规模量产。采用全自研高NA、低像差、宽光谱、偏振可调的高性能成像系统,可满足先进制程及成熟制程套刻量测要求;丰富的量测评价算法,有效辅助客户评估套刻量测及标记质量;自研数据服务器,可提供低高阶模型分析,处方管理,数据分析,处方自动优化等功能。

Ø 全面对标国外先进水平,能够覆盖目前国内IBO市场最高端需求,在国内处于技术领先

Ø 围绕逻辑、存储特殊需求(如20um穿硅需求),扩展产品应用

Ø 完成同轴追焦、ML焦面算法实现,波长覆盖范围更大

Ø 高精度,高产率、真正解决Tool match问题,提升工程化能力