御微半导体i6R系列掩模缺陷检测设备是一款集缺陷检测、双面清洁以及倒版功能于一身的掩模全景质量管理设备，通过多项先进技术的导入和功能优化，应用场景涵盖晶圆厂黄光区、光罩室和Mask Shop。凭借御微独创的360°照明技术，i6R-210产品已逐步开始建立掩模厂出货检和晶圆厂入库检的闭环管理统一标准体系。