据亦庄新城官微消息，近日，总投资11亿元的富创精密半导体装备零部件全工艺智能制造生产基地和集成电路装备零部件研发制造基地在马驹桥镇智造基地竣工投用。

据悉，这座占地约5.6万平方米、总建筑面积5.9万平方米的半导体零部件智造工厂，将填补国内5纳米至7纳米先进制程核心零部件全工艺生产空白。富创精密此次落地的基地从等离子喷涂到ALD镀膜，从半导体反应腔零部件到匀气盘产线，将建成国内一流的全工艺生产线，未来可为北方华创头部装备企业提供国产替代核心部件。

据了解，富创精密基地预计明年正式投产，投产后将进一步加快集成电路装备核心零部件国产化进程。