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普发真空推出全新一代气体分析仪OmniStar和ThermoStar
出自:大半导体产业网

新品设计紧凑、易于操作,检测限低,能在大气压下进行定量和定性分析

近日,普发真空正式在中国发布紧凑型便携式台式分析仪OmniStar和 ThermoStar GSD 350 。两款产品均可在大气压下分析气体,广泛运用于化学工艺、半导体工业、冶金、发酵、催化、冷冻干燥和环境分析。机器的进气口配有毛细管,可在最高 350°C的温度下使用,可以防止在过工艺气体分析过程中产生蒸气凝结。同时,得益于两级进气系统,气体供应几乎可以实现完全无分层。 
 
此次发布的两款机器分别具有各自的特点。ThermoStar 解决方案是专门为与热电平进行耦合而研发的,配有石英玻璃毛细管和铂膜片的进气口系统,可确保即使是最小的浓度也可进行分析。OmniStar 则为更加广泛的应用而开发,使用不锈钢毛细管。与其他分析方法(如 FTIR 或 GC-FID)不同,这两款新设备可同时检测质量范围内的所有气体。
 
图片说明:普发真空推出的紧凑型台式装置,用于气体分析
 
同时,凭借新型质谱仪软件 PV MassSpec,这两款产品也可以进行定性和定量分析。该软件提供了一个清晰且易于操作的平台,不但能够记录和显示测量数据以及参数集,甚至可以对完整的测量序列进行编程和自动化,根据设备型号的不同,质量范围分为1至100 u,1至200 u,和1至300 u三种类型。
 
与同类设备相比,OmniStar 和 ThermoStar GSD 350体积小巧,并可通过7 英寸集成触摸屏或网页用户界面便捷地进行操作。用户不仅能完全控制设备,而且可以通过智能手机或平板电脑进行简单的测量,从而摆脱了电脑端或PV MassSpec的限制。 
 
最后,此两款新型分析仪还具备检测极限低(取决于质量范围,最低 <100 ppb)、气体消耗低(1-2 sccm)、测量时间快(最高 1 ms/u)的特点。为了扩展工艺适应性,还可以选择加配质量平衡校准设备或受监控的腐蚀性气体吹扫系统。
 
 

 

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文章收入时间: 2020-07-02
 
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