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普发真空推出全新涡轮分子泵 HiPace 350 和 HiPace 450

来源:大半导体产业网    2020-12-10
•性能强劲、重量轻、占地面积小 •坚固的轴承设计,确保最佳可靠性 •对轻气体的高抽速

普发真空推出全新 HiPace 350 和 450 涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。


图:普发真空 涡轮分子泵HiPace 450

HiPace 350 和 450 性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,HiPace 系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了最佳的可靠性。

创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点:对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比极佳。由于可以安装在任意所需方向,该系列泵具有极佳的性价比和灵活性。

“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。HiPace 350 和 450 是 300 至 700 l/s 吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵,针对小分子气体具有绝佳的抽吸能力。”普发真空涡轮分子泵产品经理 Florian Henss 说道。

HiPace 内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下,提供了包括 ProfiNet 和 EtherCat 在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析,实现在运行过程中进行理想的工艺监控。它的运行噪音低,气体流量大,为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得 Semi S2、UL、CSA 和 Nema 12 认证。

此外,该系列各款泵均可以在客户现场进行轴承维护和轴承更换,并且均可免维护运行 4 年。

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