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盛美半导体首台清洗设备入驻芯物科技

来源:盛美半导体设备     2021-06-11
6月7日,上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行,盛美半导体设备(上海)股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技!

2021年6月7日,上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行,盛美半导体设备(上海)股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技!

据国家智能传感器创新中心负责人在致辞时介绍,12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均采用国产设备,为国产装备提供验证平台,加速传感器产业链国产化,实现自主可控。

盛美半导体董事长王晖先生在致辞时说:“能够获得和芯物科技一起成长的机会,我代表盛美向芯物科技表示衷心的感谢!在这个充满机会与挑战的时代,期待未来和芯物科技一起,开发一些全球领先的差异化特色工艺和设备,把中国的MEMS做到世界前列!”

盛美本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备,该设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗,可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小,产能高,稳定性强,多种清洗方式灵活可选,且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。

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