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上海微技术工业研究院设备材料研发合作平台 华海清科CMP设备搬入仪式成功举办
出自:大半导体产业网

2020年1月20号,上海微技术工业研究院(简称“工研院”)携手天津华海清科机电科技有限公司(简称“华海清科”)举办了工研院设备材料研发合作平台化学机械抛光(CMP)设备搬入仪式。来自工研院与华海清科的领导出席了本次仪式,同时来自上海联和投资、嘉定国资、菊园新区的各位领导也莅临仪式现场,共同见证工研院与产业界开展研发合作的又一重要里程碑。

上午,CMP设备搬入仪式正式开始。工研院总经理丁辉文首先致辞,丁辉文表示此次工研院与国产CMP设备杰出厂商华海清科的深度研发合作,是产业界的一次强强联合,更是一次研发合作新模式的探索和尝试。工研院将进一步拓展研发转化新模式,着力打造创新创业新载体,以8寸研发中试线为支撑,以新设备、新材料、新工艺的创新发展促进新器件的性能提升,助力集成电路生态系统建设。



华海清科路新春董事长表示华海清科是天津市政府与清华大学联和成立的CMP设备公司,设备品类覆盖8~12寸机型,在国内主流公司广泛使用。工研院拥有8英寸“超越摩尔”研发中试线,可实现从研发到量产的全程服务,此次与工研院合作是优势互补、资源共享、互利共赢的新起点,具有重要的里程碑意义。



双方在仪式现场签订了战略合作协议,并为设备搬入进行了剪彩。





设备和材料是集成电路产业的基石,也为我们“超越摩尔”领域的多元化创新提供了最根本的保障。通过此次创新合作,能够进一步提升工研院8寸研发中试线的工艺平台能力,从而支持更多的工艺及器件创新。同时,也会将当今信息技术所需元器件对于工艺的最新需求反馈至设备公司,助力其进一步改进设备对特色工艺的支持能力。

近年来,工研院通过创新研发合作模式、引进国内外专家、成立研发合作部门等多项举措,与一批国际和本土的知名设备材料企业建立了紧密的合作关系。工研院作为一个开放的平台,愿与国内外集成电路产业公司携手合作,不断降低产业研发成本,缩短产品开发周期,逐步共同探索出一条自身造血、可持续发展的道路。



关于上海微技术工业研究院(SITRI):成立于2013年,由上海市科委、嘉定区和中科院微系统所发起成立,是集研发、工程、产业化于一体的新型研发机构。SITRI拥有全国首条8寸“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线。SITRI通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施,不断降低产业研发成本,缩短产品开发周期,在促进创新创业的同时,逐步探索出一条自身造血、可持续发展的道路。SITRI已形成国际化的专家团队,在MEMS、AlN、硅光、微流控、生物光电子、磁传感和硅基III-Ⅴ族等领域为企业提供长期可靠的研发服务。通过组建工程服务平台,提供产品、工艺、电路的分析以及晶圆和成品测试等技术支持,同时提供芯片设计、知识产权和产业咨询等相关服务。SITRI立足上海、辐射长三角、面向全国,已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。

关于天津华海清科机电科技有限公司(华海清科):成立于2013年,是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略,为推动我国CMP技术和设备产业化成立的高科技企业。华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件,致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案,遵循“科技服务社会”的公司宗旨,持续进行优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖。
 

 

 

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文章收入时间: 2020-01-22
 
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