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特种气体化学品配送设施规范审查验收会议在正帆科技召开
出自:大半导体产业网

2019年11月19日,《电子工厂特种气体和化学品配送设施通用规范》(“规范”)研编工作审查验收会议在上海正帆科技股份有限公司(“正帆科技”)召开,十余家研编单位有关人员和30位评审专家参加了本次会议,并在会议上审查了规范的草案、研编工作报告及专题研究报告。
 


该规范是由中国电子技术标准化研究院电子工程标准定额站组织、信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司等相关单位共同研究编制。目前编制完成的规范主要涉及特气和化学品配送设施设计、配套设施设计、施工与验收、运行与维护、废弃与拆除等内容。正帆科技作为主要参编单位之一,主要完成了特种气体设备和输送系统章节内容的撰写,得到了中国电子技术标准化研究院电子工程标准定额站的高度认可。此规范发布后将成为泛半导体行业的气体化学品输送系统方面的综合性指导文件。

深耕中国集成电路、平板显示、半导体照明、太阳能光伏、光纤制造以及生物制药产业领域制程关键系统综合解决方案近20年,正帆科技一直致力于推进行业相关规范和标准的制定,曾参与《电子工程化学品系统工程技术规范GB50781》、《特种气体系统工程技术规范GB50646》、《大宗气体纯化输送系统工程技术规范GB50724》以及《光纤厂工程技术规范GB 50945》等国家标准的起草和制定,填补了国标在此领域的空白,为泛半导体行业气体和化学品的安全使用提供了指导和参考标准。

正帆科技将多年工艺应用数据库和项目经验积累纳入到规范的撰写中,比如高纯工艺系统微污染控制技术,依据材料科学和表面处理工艺原理,通过对系统设计、材料选型、设备制造、现场洁净环境、施工工法、质量检验、设备测试和调试等关键环节的控制,避免配送系统对工艺介质带来二次污染,保障高纯气体和化学品在配送过程中的纯度。目前正帆科技的高纯配送系统可保障纯度为99.9999999% (9N)的气体和化学品输送。

此外,特种气体和化学品输送系统面对的多数是易燃、易爆、剧毒、易腐蚀的气体或者化学品,且工艺过程复杂,易对系统寿命乃至工作人员的生命安全造成威胁。正帆科技在所撰写的特种气体设备和输送系统章节中特别强调了硬件本质安全、工艺设计安全、系统联动安全控制、工艺监控综合安全管理等方式共同实现在安全安全保障的重要性。正帆科技通过精密气体侦测技术,对排放点及环境点进行检测,确保排放和工作环境气体指标达到安全要求。系统发生意外泄漏时监控系统可及时报警,自动切断气体供应,启动事故应急反应,确保人员、设备和环境安全。

此次审查验收通过后,《电子工厂特种气体和化学品配送设施通用规范》将被提交住房和城乡建设部标准定额司以及工业和信息化部规划司立项,得到批准后将组织该规范的编写工作。

 

 

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文章收入时间: 2019-11-20
 
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