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高良率10.5代线生产设备助力显示产业向技术优势转变
出自:大半导体产业网

半导体技术革命带动全球显示产业蓬勃发展,推进未来超大屏幕、超高解析度(8K)电视、折叠屏、Micro-LED、原生裸眼3D等等应用的到来,应用材料公司显示产品与柔性技术事业群副总裁James Xiao表示,LCD向8.5代-10.5代发展是一个不可逆的趋势,预计8K将在2020年、2021年的时候开始广泛推广,另一方面,未来10.5代的OLED也会开始出现,最终走向RGB OLED。

凭借在半导体设备领域积累的经验,应用材料公司在显示行业打下了坚实的基础,每年在研发方面的大量投入,带动了应用材料公司与半导体及先进显示产业的共同成长。应用材料公司显示产品与柔性技术事业群副总裁兼首席营销官Max McDaniel表示,平均来看,电视的尺寸每年增加约1 - 1.5英寸,显示屏面积与台数的增加,使得电视面板面积市场需求量整体年均复合增长率达到7%,在面板经济学的驱动下,大尺寸电视市场尤其是65寸以上的电视市场得以快速增长,加之8K超高清显示的出现,给显示企业提出了更高端、更艰巨的技术挑战。

为此,应用材料公司此次推出了10.5代线及以上的成套生产设备,能够有效助力显示企业客户降低生产成本,在高端电视市场占据领先地位。



显示行业面临的挑战来自于超大、超薄玻璃,镀膜速度、真空设备、颗粒控制、物流能力等等。比如当显示设备面积越大或者相关尺寸越长时,等离子体越容易产生驻波效应,利用HCG、HCE等离子体控制专属技术将等离子体约束起来并使之均匀化。另一方面,超大尺寸的显示屏需要将金属的导线层加厚以降低连接电阻,为应对加厚金属层带来的越来越大的应力,应用材料公司的PVD设备推进旋转阴极技术与磁悬浮技术以得到更均匀的金属膜层,同时大幅度降低颗粒污染。

应用材料公司显示产品及柔性技术事业群良率技术部总经理Peter Nunan说:“世代越来越大,随之良率的挑战也会越来越大。” 面对电视的尺寸和电视的精密度要求,要将整个设备的成膜均匀度提高三倍,同时将污染颗粒的单位面积密度降低10倍,才能满足10.5代以上的基板生产要求。



进入纳米时代后,Peter表示工厂的管理效率提升就是从过去看不清的光学检测技术,进化到更先进的电学技术分析查找并解决生产问题,从而达到提升效率的目的。他进一步介绍道,为满足更新的要求,应用材料公司将电子束测试设备扩展到用一整套电子束产品来检测所有的产品,例如电子束检视设备“EBR”可以随时在线并且以高分辨率定位玻璃基板的问题位置,把很多设备问题,包括曝光机、刻蚀机、清洗机等的问题在线即时查找出来,相比传统的方式需要花费一天的分析时间,此方法花费一分钟就能找到问题并追根溯源。缩短良率爬坡时间和稳定理想的良率,对每一个工厂来说可以节省大量开支。

不管是背板技术还是前板技术,对材料的创新都提出了一些新的要求,半导体材料从传统的非晶硅转向金属氧化物来驱动,业界认为下一步的创新可能是从非晶硅TFT到金属氧化物TFT。为此,应用材料公司整合CVD跟PVD部门提供单一设备和工艺解决方案,以及工艺整合的解决方案,使TFT工艺中IGZO金属氧化物的TFT特性达到一个最佳化。

本文作者 Jenny

 

 

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文章收入时间: 2019-03-27
 
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