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《半导体制造》
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 《半导体制造》2010年7月刊 下载 (PDF MB)  下载次数6049
编者寄语
寄语中国半导体产业的“十二五”规划技术上的赶超与突破是目前中国半导体产业发展的当务之急,应是“十二五”规划的重中之重。
IC人生更多>>
中国石英制造业:墙内开花里外香
对于中国本土制造来说,“心有多大,舞台就有多大”。低头耕地、聚焦市场决定了企业能不能活下来,而抬头看天、拥有超越商业的使命和价值观,决定了企业能不能做大、做强、做久。
封面文章更多>>
32nm互连刻蚀:成长的烦恼
刻蚀工艺面临的传统挑战将伴随着新兴技术的引入变得更加严峻。很多东西已不再为人们所熟识,很多努力需要从头来过,一切可能只是刚刚开始。
半导体ABC更多>>
半导体工艺基础
技术、创新和洞察更多>>
65nm技术300mm Cu BEOL 顶沟槽刻蚀工艺的研发
顶沟槽刻蚀的挑战包括特别要求最小的刻蚀深度加载和可靠的CD(特征尺寸)均匀性,无菱刻、毛刺和条纹。优化Enabler工作室上的NSTU、CSTU和各RF电源后,顶沟槽刻蚀基线实现了刻蚀均匀性的最佳等离子密度分布。
新一代Cu CMP后清洗液研究
CMP后清洗在保持器件性能稳定方面起着极其重要的作用,用于Cu CMP工艺的新颖碱清洗化学溶液在无机颗粒与有机残余物的去除、Cu刻蚀速率、粗糙度、Cu/ULK晶圆上Cu腐蚀和缺陷率方面显示了卓越的性能。
ECP SAC工艺中Rs 均匀性的改善
电镀加工过程中,有许多因素会影响不均匀性百分比。BEOL的Cu金属化工艺中,较大的电镀板间距和低clamshell旋转速度是优化镀层剖面和提高Rs均匀性的有效方法。
用于45nm良率分析的先进在线检测平台
DUV宽带明场检测设备和试验芯片的集成检测方法,可以识别引起良率下降的系统性缺陷和随机缺陷,为在45nm技术节点加速基于缺陷的良率学习,监控关键DOI,显著改善良率学习周期。
下一代镍基焊盘成就铜引线键合工艺
随着器件工艺不断朝着焊盘节距日趋精细化、焊盘金属化层日趋薄型化的方向发展,为了解决焊盘损伤的问题,镍基焊盘应运而生,下一代镍基焊盘将进一步优化铜引线键合工艺。
光罩透射率对铝金属蚀刻腐蚀缺陷的影响
有OTP情况下的0.18μm制程的工艺优化
浅槽隔离中的氧化层缺陷解决方案的研究
新闻与观点更多>>
产业再现疯狂投资晶圆厂支出增幅达117%
谁是下一个奇梦达?
IMEC与华力微电子65nm CMOS芯片技术合作协议正式签约
太阳能与LED护驾低碳世博
Intersolar和SEMI PV Group联手打造亚洲最大的太阳能...
中芯国际北京300mm厂扩产在即
中国首台自主知识产权12英寸设备进入韩国市场
国内首台高端LED刻蚀机交付使用
总裁访谈 更多>>
在精细之处不断追求
产业低谷正是新产品进入市场的绝佳时机
当产业处于低谷时,工程师、技术人员才有更多的时间来寻找改善工艺、降低成本的方法,才会尝试新品,对于供应商来讲,这正是新产品进入市场的绝佳时机。
专题报道更多>>
光伏产业的跃进?聚光光伏扩产面临挑战
高亮LED制造技术获得显著改良
通过从大规模半导体制造技术中所学来的方法,包括在线工艺控制、缺陷分析以及基于模型的温度控制等,高亮LED制造技术正在获得显著改良。
前沿技术更多>>
3D MEMS
 
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