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《半导体制造》
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 《半导体制造》2015年3月刊 下载 (PDF 17.3 MB)  下载次数310
编者寄语
“展锐+中芯+长电”=虚拟IDM?就在羊年将要来临之际的2月14日,国家集成电路产业投资基金、华芯投资、紫光3方共同签署了战略合作协议:未来5年内,产业投资基金拟以股权投资方式给予紫光总金额不超过100亿元人民币支持,用于紫光发展集成电路业务,扩大集成电路业务规模,提升集成电路业务核心竞争力;推前两天的2月12日,中芯国际宣布国家集成电路产业投资基金以占11.58%的股份入股,成为中芯国际第二大股东。而再此之前,国家大基金还资助了长电科技收购星科金朋,似乎在大基金的关照下中国集成电路产业的IDM已现雏形。
SEMI in China更多>>
SEMICON China 2015
中国政府发布了《国家集成电路产业发展推进刚要》,在2020年,集成电路产业与国际先进水平的差距逐步缩小,全行业销售收入年均增速超过20%。SEMICON/FPD China 2015是您了解和融入这个充满活力的半导体产业最适合的专业技术展览!
IC设计与制造更多>>
ADI用软件定义无线电应对复杂设计挑战
软件定义无线电(SDR)的发展历史可以追溯到上世纪90年代。作为一项极具革命性设计思想的技术,初期更多被用在一些军事设施中,后来逐渐在民用通信领域得到了重视和推广。近年来,随着3G及4G无线通信技术的快速升级换代,软件定义无线电技术的规模应用更加具有现实的急迫性。
飞思卡尔:抓住物联网(IoT)的商机
物联网在消费和工业领域都实现了增长,也不断遇到各种机遇和挑战。飞思卡尔市场营销总监Steve Nelson 表示,2014年伴随着物联网(IoT)崛起同时,也遇到一些有关我们处于这一技术趋势何种阶段的问题。消费者越来越了解和需要互联设备,我们必须更加关注那些真正能够解决实际问题,和提高消费者生活便利性的产品。
富士通半导体:深耕FRAM技术实现创新应用
FRAM(铁电存储器)具有像E2PROM一样的非易失性的优势 ,在没有电源的情况下可以保存数据,用于数据存储。富士通半导体拥有FRAM整个生产流程技术,自1999年开始已一直为客户提供所需的高可靠性从4Kb至4Mb FRAM产品,特别在FRAM RFID和认证FRAM方面众多的创新应用方案,涵盖SPI和I2C串行接口、并行接口,对电子产品的创新设计、应用提供了可能。未来富士通半导体还会不断推出更多新品,逐步实现大容量化。富士通半导体上海有限公司...
硅谷数模:把接口做到极致
硅谷数模(Analogix Semiconductor) 是用于笔记本电脑、平板电脑和其他移动设备的符合DisplayPort标准的半导体和IP产品的领先供应商。据硅谷数模中国市场总监梁茜介绍,硅谷数模是从模拟设计起家的,公司模拟电路设计员工平均在职年限在6到7年以上,在接口IC领域进行了长时间的技术和经验积累。
中芯国际在中国集成电路产业发展的黄金时代顺势前行
中芯国际集成电路有限公司是世界领先的集成电路代工企业,也是中国内地规模最大、技术最先进的集成电路晶圆代工企业。中芯国际坚持“先进工艺与成熟工艺两条腿走路”的发展策略,面向全球客户提供0.35微米到28纳米晶圆代工和技术服务。
华虹宏力:以特色工艺创新“智”造
世界领先的8英寸纯晶圆代工厂——上海华虹宏力半导体制造有限公司(华虹宏力)提供嵌入式非易失性存储器、功率器件、射频、模拟及混合信号、电源管理及MEMS等多种特色工艺技术平台与定制化解决方案,覆盖1.0微米至90纳米各技术节点,尤其在嵌入式非易失性存储器、功率器件制造领域居于业界领先地位,是世界最大的智能卡芯片代工厂,其0.35微米与0.13微米SONOS eFlash和eEEPROM芯片累计出货量居世界第一。
长电科技:心怀梦想 创造卓越
江苏长电科技股份有限公司(长电科技)是中国国内规模最大、世界排名前列的半导体封测厂,为海内外客户提供芯片封装设计、产品开发、封装测试的完整一站式服务,与客户实现无缝对接,全面支持客户需求。
安森美:以高能效创新配合关键应用市场发展
从市场需求来看,2014年欧元区的重新转向上升态势带动了全球半导体产业发展。安森美策略及营销副总裁David Somo表示,从应用市场看,2015年我们将看重汽车、白家电、智能手机、工业及物联网(IoT)等领域的发展。
集创北方:让触控和显示IC合二为一
专注于平面显示技术的北京集创北方科技有限公司 (ChipOne Technology)近日推出了一款拥有自主知识产权的触控芯片全新解决方案——ICNT86系列触控芯片,该产品适用于智能手机、平板电脑等多种移动终端全尺寸屏幕,在各种复杂环境和场景的触控应用中保持精准,并全面支持On-cell及In-Cell模组。
中电港:整合产业资源提供最佳体验
中电港作为元器件电商的“国家队”宣称要搭建“融合物流圈、金融圈、信息圈和人才圈”的全新供应链生态圈。中电港执行董事周继国、CEO刘迅阐述了中电港打造电商大平台的思路和未来规划:整合产业资源、提供最佳体验,中电港短期内没有把营业额作为考核目标,而是让更多人来参与、体验,并将这样的体验优化作为一个重要的目标。
工艺制造更多>>
三维多晶刻蚀工艺中的多晶剖面优化
20纳米工艺节点开始引入的鳍式场效应晶体管(FinFET),把晶体管的结构从二维发展到了三维。就FinFET的工艺而言,鳍到有源区(AA)的台阶高度导致了鳍上多晶层和浅沟道隔离(STI)区多晶层的一个高度差,而正是这个高度差对多晶刻蚀工艺提出了一个很大的挑战。本文的研究工作主要关注三维多晶栅刻蚀工艺中的多晶栅剖面优化。
封装测试更多>>
后端封装结构和过硅孔的高空间分辨率应力测量
在先进的三维集成器件中,了解并控制后端封装叠层结构以及周边过硅孔(TSVs)的局部应力的产生对器件的热和机械可靠性至关重要。本文同时采用了模拟和实际测量两种方法,来评估三维器件键合工艺中,叠层结构以及过硅孔形成的应力,并对高空间分辨率的应力测试方法做了初步的基准对比。本文还对基于微拉曼光谱(micro-Raman)和新的聚焦离子束 (FIB)来释放应力的技术做了一定的介绍。
过硅孔工艺中电致迁移失效机理分析
过孔硅(TSV)是三维集成电路和器件封装生产制造中的一个重要环节,其优点是更低的功耗、更高的集成度和更短的信号传输长度。过孔硅是一种复合结构,通过把电解铜填入由刻蚀形成的硅孔中来制备,其中包含Cu/Ta/TaN/SiO2 多个界面而刻蚀工艺本身则决定了结构的粗糙度。在这一复合结构中,铜和硅的热膨胀系数的差异越大,产生的热应力和可靠性问题也越大,但有报道称相应的电迁移功函数可以变动较小。
中国集成电路测试设备的商机在哪里?
中国的集成电路行业发展有十几年了,也确实取得了一些令人瞩目成就,不仅有了自己的Fab和封测厂同时也培养了不少优秀的设计公司。然而在集成电路设备这个领域,中国大陆发展现状却不尽人意,虽然不能完全说乏善可陈,但整体相对设计和制造而言,确实落后不少。
基于PXI开放式平台搭建CMOS图像传感器芯片测试方案
CMOS图像传感器芯片(CIS, CMOS Image Sensor)是智能手机的一个重要器件。国内外比较著名的手机CIS厂商有索尼、东芝、OmniVision、格科微和思比科等。CIS芯片通常有如下功能模块组成,分别是包括像素阵列的传感器核心组件(Pixel Array Image Sensor Core)、ADC模块、图像处理模块(ISP)和IO模块。
浅析MEMS传感器晶圆级测试
MEMS传感器是指利用类似集成电路的微加工技术,实现一种基于物理或化学原理的检测声、光、电、磁、热、力等物理量的传感器。MEMS传感器由于体积小、重量轻、低功耗、低成本、高可靠已广泛应用于手持终端,可穿戴智能设备、智慧医疗、智能家居、汽车电子、游戏产业、石油勘探等工业应用领域。本文主要讨论MEMS传感器在设计研发、量产、成品测试应用等各阶段遇到的共性问题及现状,浅析其发展趋势和解决方案。
针对 3D IC 的即插即用测试策略
通过多个垂直堆叠芯片组装成的芯片 3D IC(三维 IC)即将问世。这种 IC 能够有效改善性能、降低功耗并提高产量。通常,我们使用硅面积作为关键因素来确定产量,越大的芯片就越有可能包含制造缺陷。因此,一种提高产量的方法是将大芯片和潜在低产量芯片分割成多个较小的芯片,并先对这些小芯片进行独立测试,然后在 3D IC 中将它们贴装在一起。
供应商报道更多>>
世伟洛克 (booth 3331) 为用户提供终身服务
世伟洛克(Swagelok)是全球高品质流体系统解决方案的主要开发商和提供商,为包括石化、半导体、电力、替代燃料、石油与天然气、科研、仪表、生物制药等行业研发、制造并提供先进的流体系统产品、服务和解决方案。
海德汉(booth 2014)全新LIC 2100敞开式直线光栅尺
对于许多应用,极高的可靠性和较大的安装公差甚至比精度还要重要。作为专业研发和制造光栅尺,角度、旋转编码器、长度计等产品的海德汉公司现在为这类应用提供一种全新的绝对位置测量的敞开式直线光栅尺LIC 2100,其特点是安装非常简单,简洁的安装面机械结构使其易于安装在机器中。
广奕 (booth 4181) 专业提供半导体生产线设备总体解决...
主营业务包括:工艺技术转让,如整套产品工艺技术、 单道关键工艺技术及人才团队引进;整线转移,如2、3、4、5、6、8英寸生产线 (含LED)整线所有设备的技术咨询、拆机、包装、运输等服务; 关键设备现货供应,如光刻、注入、薄膜、刻蚀及扩散等设备及LED生产线专用光刻机、涂胶显影机等;技术服务及备件耗材,如集成电路前道生产线所有设备的装机、调试、翻新、改造、维修等服务及现货供应前道生产线设备的备件及耗材等。
华特气体 (booth 5673):本土高纯特种气体供应商
佛山市华特气体有限公司位于珠三角腹地佛山市南海区,创建于1993年2月,前身是“广东省华南特种气体研究所有限公司”。2000年成立了以佛山市华特气体有限公司为首的——华特气体集团。
绿菱气体(booth 2415)量产大规模集成电路级笑气和氯...
绿菱气体致力于特种气体的开发和生产销售。公司产品线包括各种氟碳气体、羰基硫、一氧化氮等,为半导体、TFT-LCD、光伏和LED等行业提供各类特种气体与服务。
SüSS MicroTec(booth 5623)的3D\MEMS\LED技术方案
SüSS MicroTec 以三维集成、压印光刻等新技术支持晶圆级封装等关键工艺及微电子机械系统(MEMS)、LED 的生产。三维集成:包括硅通孔(TSV)和再分布引线(RDL)层光刻设备、TSV 通孔以及金属层直接层激光烧蚀系统。
液化空气中国电子 (booth 5201) 配合中国电子行业迈向...
液化空气集团电子气业务包括:高纯大宗气体,如氮气、氢气、氧气、氩气、氦气以及干燥压缩空气,被广泛应用于电子制造,可用于工艺生产和保护气;同时提供持续气体纯化和在线持续质量控制服务;高纯电子特种气体,如提供各种高纯电子特种气体与混合气,种类繁多的ALD和CVD沉积镀膜材料以及激态原子激光气。
Diener electronic(booth 2516) 等离子系统设备制造专...
Diener electronic GmbH + Co. KG是一家在不断增长的等离子表面处理技术市场中年轻的高科技公司,在德国巴登符腾堡州多地开发及生产革新性的解决方案并且取得了巨大的成功,使得等离子表面处理工艺更经济、精确且环保。
ETEL(booth 2601)的高端运动系统
ETEL是一家100%专注于直接驱动技术的公司。直驱电机、运动控制及运动平台是ETEL的三大核心业务。作为全球先进运动系统和控制系统的领先供应商,ETEL拥有完善的针对半导体和电子工业高标准要求的机械电子系统产品系列。
PacTech(booth 5174)晶圆级封装技术方案
总部位于德国的PacTech-Packaging Technologies GmbH是一家在晶圆级封装领域全球领先的设备制造商。在晶圆级封装领域,PacTech的设备主要分为三类:化镀整体解决方案(E-Less NiAu& NiPdAu plating):设备、化学品、Process Transfer Solder Bumping设备:包括激光植球设备(Laser Assisted Solder Jetting)和圆片级植球设备(Wafer Level Solder balling)
TEESING(booth 2333)100级无尘室中组装技术
TEESING公司总部设在荷兰,分为三个业务单元:工业应用、微电子技术、替代能源。其中,微电子技术单元,公司主要提供涉及半导体、机电、光伏和液晶显示产业领域,从原料到制程中应用的高纯/超高纯部件和组件产品。
奥智品光学仪器(booth 3409)的影像测量系统
Quality Vision International为全世界制造业提供用于尺寸检测的高精度非接触和多元传感测量系统,广泛应用于汽车,电子,半导体,航天,陶瓷,医疗,塑料,生物医药,金属加工及其他行业。
先艺电子(booth 3512)“预置金锡合金可伐盖板”产品面...
广州先艺电子科技有限公司致力于为光电子封装、MEMS封装、微电子、大功率器件封装领域提供优质的预成型焊料片(Solder Preforms),自主研发生产的合金焊片产品从低温至高温多达一百多种,继Au80Sn20、Au88Ge12等合金预成型焊片成功研发及广泛应用于光电子、微电子、军工、航天等领域后,2014年又自主研发出“预置金锡合金可伐盖板”,将广泛应用于光电子封装、MEMS封装等领域。
蔡司(booth 2419)的全套解决方案
蔡司显微镜部门的产品包含了传统光学显微镜、激光共聚焦显微镜、X射线显微镜以及电子显微镜,使得蔡司具有同时提供全套解决方案的能力。在半导体器件制造中,Axio Imager. Vario大样品正置式显微镜在不同生产阶段中的质量控制包括监测沉积、蚀刻以及光刻工艺的效率以及测定薄膜厚度。
理波(booth 3413)的IDL系列工业级精密运动平台
美国理波公司(Newport Corporation)是全球领先的光电子先进技术产品和系统的解决方案提供者,整合旗下Ilx Lightwave?、Ophir?、New Focus?、Oriel? Instruments、Richardson Gratings?和Spectra-Physics? 子公司,供应客户各类光源、光电仪器、电光调制器、激光器、光学平台、亚微米定位系统、光学机械构件、振动隔离、光学元件、光学量测计等光电科技产品。
苏州新美光(booth 5147)的一揽子半导体硅片解决方案
Suzhou SICREAT苏州新美光纳米科技有限公司依托中科院苏州纳米所和产业技术创新与育成中心,致力于为客户提供一揽子的硅片全面解决方案,提供各种规格的优质半导体硅片。
恒嘉晶体(booth 3551)专业蓝宝石制造商
苏州恒嘉晶体材料有限公司持续关注于蓝宝石材料不断增长的应用需求,提供衬底材料、智能手机、可穿戴设备、光学、高端分析仪器等广泛领域的蓝宝石应用解决方案。
3D-Micromac(booth 5726)推出创新型激光切片设备mic...
3D-Micromac领先的激光加工设备生产厂商将在SEMICON China 2015上推出高性能的激光切片系统microDICE?。新系统在保持高的成品率和产率的前提下,提高了切边的质量并降低了成本。
神工半导体(booth 2248)的大口径硅单晶体
锦州神工半导体有限公司(Thinkon Semiconductor),以其世界一流的日本技术团队快速地在中国生产出同等质量的大口径硅单晶体,首次实现了“日本技术和品质”与“中国制造”的完美结合。
史泰科(booth 1563):薄膜材料领先的供应商
史泰科(H.C. Starck)的薄膜溅射材料在高清与超高清电视、智能手机以及移动通讯设备等产品中有广泛应用。其为各种薄膜产品提供的钼、钨、钽以及铌等金属平面与旋转溅射靶材,以高纯度、均匀的微观结构、低电阻率、高电能密度、优良的溅射特性而受到平面显示器、触摸屏、半导体和光伏工业生产商们的肯定。
厦门保视丽(booth 2215):专注 无尘科技
洁净室擦拭布、抗静电擦拭布、卷轴式擦拭布、工业湿巾和手套的专业制造商厦门保视丽无尘科技有限公司,致力于普通聚酯纤维和超细纤维擦拭产品的研发和生产,拥有专业的研发团队、自创实验室和精密的机台设备。
DAS(booth 2404)最新的燃烧/湿废气处理的产品—STYR...
专为处理来自CVD工艺废气危险物质而开发的STYRAX,能有效控制薄膜处理成本,小体积的STYRAX既可以安装在fab的地下室,也可安装在更为靠近主设备的边上。
达谊恒(booth 1000)推出新品:Ophiuchus
达谊恒精密机械(常熟)有限公司为FPD、半导体制造厂商提供真空环境、大气环境用搬运机器人,及配套使用的等离子发生用电源、整合器。
Instrument Systems (booth 1247)的高精度 LumiCam 13...
德国光学测量公司 Instrument Systems 最新推出 LumiCam 1300 Advanced 图像亮度和色度测量仪,要以最高的精确度来检测显示屏与多功能显示面板。
PRECISON PLUS 真空泵配件(booth 1405):原厂级品质...
Precision Plus Vacuum Parts是一家专业提供真空泵配件及易耗品公司:从维修保养包、真空泵过滤器、叶片、KF管材、真空泵油( 经过FDA认证)、转子、定子、腔体等到经过爱得华维修车间认证的翻新泵,常年为大部分主要真空泵提供配件现货供应。
ROLLON(booth 1263)独特的滑动解决方案
意大利ROLLON公司以其先进的技术能力,在设计、制造和销售直线运动系统方面领先全球,如紧凑型滑轨,可伸缩性滑轨,简易型滑轨,线性轴承和直线模组。
日本电气硝子(booth 1459)的新品:霸王龙
作为特殊玻璃领域专家日本电气硝子,利用玻璃专业的基础技术和应用技术,不仅着力于开发显示屏用玻璃,还广泛活跃于电子产品、复合强化等特殊玻璃领域。
上海佳遇(booth 1306)高品质无尘手套专业供应商
上海佳遇贸易有限公司专业从事无尘手套、无尘擦拭布等批发零售,专门为半导体集成电路、液晶屏、触摸显示屏、OLED屏、晶硅太阳能电池、硬盘精密机电、光纤通讯、纳米新材料、航空航天、微电子、线路板及光学器件等高精尖行业,提供无尘室安全防护和清洁用品及服务。
SK-Electronics(booth 1663)的次世代的光掩模板
通过液晶显示器(LCD)展现丰富且艳丽的画面,未来的市场更将持续不断朝大尺寸、高精细和高画质发展。SK-Electronics不懈地有效善用、应用长期在高精密印刷、电子、化学和光学等领域积累的经营资源,在光掩膜领域里率先实现大尺寸液晶显示器用光掩膜的制造。
天通控股(booth 1111-1109)携大尺寸蓝宝石产品亮相SEM...
天通控股重点开发电子材料与应用、新能源技术与高端装备三大产业,公司的蓝宝石产业基地通过引进消化吸收国外先进长晶技术及晶片切磨抛技术,目前已经实现了2、4、6英寸衬底的量产,并在进一步尝试生产8英寸衬底。
 
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