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关于国内半导体芯片厂投资兴建的传闻一直以来就是此起彼伏，不管个中的含金量是多是少，在建的近10家 300mm和200mm晶圆厂确实是在有条不紊的进行着，且不说他们何时投产，产能多少，设备总还是要配置的。如此大的需求量，国内设备厂商是否可以分得一勺羹呢？

关注国内半导体设备市场的朋友可能已经留意到，在国家政府扶持、国外风险投资的介入以及国内一些半导体芯片厂商的支持下，国内设备业的一些关键产品已经有所眉目了。笔者对国内半导体前端设备的16家设备厂商的生产能力、技术走势做了调研与分析，介绍了中国本土前端的半导体设备市场的状况，整理于SEMI的《中国本土芯片制造设备供应商报告》中。报告显示本土前端设备的销售额去年已达到整个中国（含国外公司在中国生产、销售）的5.09%，较上年增长23％。报告中提到一些设备：如北京中科信的200mm离子注入，中微300mm的刻蚀和CVD设备以及北方微电子200mm的刻蚀和CVD设备，沈阳芯源200mm的涂胶显影设备，七星华创和48所200mm的热处理设备，45所的封装和200mm清洗设备等都具有一定水平，其中有不少产品都在中芯国际做评估和使用。

今年4月在上海举行的2006集成电路产业链国际合作论坛上，中芯国际总裁兼首席执行官张汝京对国产设备给予了很高评价：“这些国产设备到目前为止效果非常好，不比国外设备差，目前只是缺少量产资料，下一步我们将与厂家在此方面进一步合作。” 张汝京坦言：“中芯国际愿意为国产设备厂家提供生产的测试平台。” 这支橄榄枝到得非常及时，新研制的国产设备没有芯片厂家的认证是很难被市场所认可的，然而得到像中芯国际这样重量级芯片厂商的认证，国产设备的前景可谓不可小觑。

目前国内设备零部件面临两难的选择，国内零部件的技术和加工能力目前仍无法满足国内设备厂商的要求，而进口零部件昂贵的价格以及关税也是笔非常可观的支出。但为了确保设备的可靠性，很多国内设备的零部件还是由国外进口，最多占到整个零部件成本的90%或数量的70％。随着国内设备厂商愈做愈成熟，产量逐步扩大，对零部件的需求量也将是越来越大，所以国内设备厂商非常期望设备的零部件能够实现本土化。目前不少国际上重量级的设备厂商进驻中国，像是给尚在襁褓中的国产设备打了一记强心针，但也有利有弊，众说纷纭。如果随着这些国际设备大厂入驻中国，中国这个市场就有足够的吸引力，把零部件供应商吸引过来。届时，国内设备厂商的零部件问题也可能稍得缓解。

尽管本土半导体设备较之去年有大幅增长，而半导体设备这块业务也只占到本土厂商约30％的利润，另有约50％的利润来自太阳能，剩余的约20％来自于LED等产业【见附图】。由于半导体设备的制程和太阳能电池片设备的制程很相近，而半导体设备的制造工艺要求通常比太阳能设备的制造工艺来得复杂，所以依仗着在半导体领域的技术，很多国内半导体设备厂商还涉足于太阳能领域，从而也得到不少可观的利润。所以从某种程度上来讲，也可以说是半导体产业带动了太阳能产业。国内的设备厂商也表示，会将太阳能事业的产出继续跟进半导体设备的研发，挑战高端的半导体制造技术，站得高、看得远，才会在太阳能市场游刃有余。相辅相成，多元化的发展使得企业有更为广阔的生存空间。

冯莉 SEMI市场分析师（lifeng@semi.org）